日立 FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪

概要：

自1978年以来取得傲人销量的X射线荧光镀层厚度测量仪的第八代产品FT110A，在测量精度、操作性能、软件上有新的优化。

通过自动定位功能，只需把样品放在样品台上，便能在数秒内自动对准观察样品焦点，省略了以前手动逐次对焦的操作，大幅提高了测量效果。

特长：

1.自动对焦功能 自动接近功能

在样品台上放置各种高度的样品时，只要高低差在80mm范围内，即可在3秒内自动对焦被测样品。由此进一步提高定位操作的便捷性。

●自动对焦功能    简便的摄像头对焦

●自动接近功能    最适合位置的对焦

2.通过新薄膜FP法提高测量精度

实现微小光束的高灵敏度，通过微小准直器提高了膜厚测量精度。镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2。另外，针对检测器的特性开发了新的EP法，可进行无标样测量。测量结果可一键生成报告书，简单方便。

●新薄膜EP法    

减少检量线制作的繁琐程度、实现了设定测量条件的简易化

无标样测量方法可进行最多5层的膜厚测量

●自动对焦功能和距离修正功能    

凹凸落差的样品可通过薄膜EP法做成的相同测定条件进行测量

●灵敏度提高

镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2

●生成报告功能

一键生成测量报告书

3.广域样品观察

对测量平台（250mm*200mm）上放置的样品拍摄一张静态画面后，可在获取的广域观察图像上指定狭域的观察位置。由此，可大幅减少多数测量点位置的选取时间，以及在图像上难以寻找的特定点位置的选定时间。

●广域图像观察    

轻松定位

仪器基本规格：

可测样品